一种实现等离子体升温注渗的方法及其装置，它属于等离子体基离子注入的技术领域，它是为了解决现有的注渗工艺过程中只依靠等离子体的注入对工件加热而使注渗工艺参数难以选择的问题。本发明的红外测温装置5的信号输入端连接真空室10的温度测试口，5的输出端连接辅助热源控制器6的输入端，6的输出端连接辅助热源4的输入端，热阻调节块2固定在工作台11和水冷电极装置3之间；其方法是通过2和3将工件1的温度冷却到设定的注渗温度以下，然后通过5反馈的工件温度来控制6调节4的输出功率，利用4使工件处于设定的注渗温度下。通过本发明可以对工件实现在200～500℃内任意注渗温度下的升温注渗处理，使升温注渗工艺的设计具有极大的灵活性和重复可控性。