本发明属于电化学和纳米技术领域，具体为一种纳米尺寸的化学电池、电容器，由它们组成的阵列电池、阵列电容器以及它们的制备方法。本发明利用具有纳米阵列孔的铝阳极氧化膜作为硬模板，在纳米孔中制备电池或电容器。单个电池的直径为30nm－200nm，长度为200nm－10μm。阵列电池或阵列电容器的密度为10⁸－10¹²个/cm²。电池采用在纳米或者微米孔中自下而上逐层组装的方法，正极材料可为导电聚合物、金属氧化物，负极材料可用导电聚合物、金属等，多孔隔膜由无机化合物组成。由于单个电池为纳米尺寸，可用作纳米器件的电源。纳米阵列电池的大小可根据需要任意裁剪，可用作微电子芯片或微机电、MEMS的电源。