表面元素微区分析用的铝箔包封工具及其操作方法

专利权的终止

摘要

分析表面元素用的铝箔包封工具，包括：内圈(1)；三个定位针(1)，按相同间隔设置在内圈(2)下部周边上，从内圈(2)向下延伸；外圈(5)；圆环(4)，设置在外圈(5)下部；和弹簧(3)。内圈(2)和外圈(5)同轴安装，内圈(2)和外圈(5)用弹簧(3)连接。由于本发明工具有定位针，用定位针将铝箔固定在样品上，在包封铝箔的过程中铝箔不会位移。操作方便，节省时间，提高了工作效率。

基本信息

专利标题：

表面元素微区分析用的铝箔包封工具及其操作方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1940545A

申请号：

CN200510030267.6

公开（公告）日：

2007-04-04

申请日：

2005-09-29

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

虞勤琴李明周晶高强

申请人：

中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

代理机构：

上海新高专利商标代理有限公司

代理人：

楼仙英

优先权：

CN200510030267.6

主分类号：

G01N23/227

IPC分类号：

G01N23/227 G01N1/28

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01N

借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料

G01N23/00

利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子

G01N23/22

通过测量材料的二次发射

G01N23/227

测量光电效应，例如，光电子发射显微镜

法律状态

2019-09-17 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01N 23/227
申请日 : 20050929
授权公告日 : 20100929
终止日期 : 20180929

2010-09-29 ：

授权

2007-05-30 ：

实质审查的生效

2007-04-04 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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