用于钼的化学蚀刻溶液
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
一种用于钼的化学蚀刻溶液，其特征在于由硫酸、硝酸和水所组成，它们的体积百分数范围为硫酸5％－35％、硝酸5％－25％、水40％－90％；所述的硫酸浓度为95％－98％、硝酸的浓度为65％－68％。它还可以含有一种添加剂乙二胺四乙酸二钠，该添加剂的浓度为0.01－1g/L。本发明的蚀刻溶液可在常温下使用，具有腐蚀速度快，侧蚀小，使用寿命长和加工成本低等优点，即使在静止溶液中也可实现钼的快速蚀刻。
基本信息
专利标题 ：
用于钼的化学蚀刻溶液
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1743509A
申请号 ：
CN200510044853.6
公开（公告）日 ：
2006-03-08
申请日 ：
2005-09-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
徐海波王佳王伟姜应律王燕华
申请人 ：
中国海洋大学
申请人地址 ：
266003山东省青岛市市南区鱼山路5号
代理机构 ：
青岛海昊知识产权事务所有限公司
代理人 ：
崔清晨
优先权 ：
CN200510044853.6
主分类号 ：
C23F1/26
IPC分类号 ：
C23F1/26
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/10
蚀刻用组合物
C23F1/14
含水组合物
C23F1/16
酸性组合物
C23F1/26
蚀刻难熔金属用的
法律状态
2009-11-18 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2008-03-26 ：
授权
2006-06-28 ：
实质审查的生效
2006-03-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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