猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统
专利权的终止
摘要

猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统,属于基于激光位移传感技术领域。本发明的技术特点是不再将猫眼逆向器作为谐振腔的腔镜,而是作为光线的折返器,将从半外腔氦氖激光增益管的毛细管出射的光线折返到与输出镜平行的一个静止、与系统固结的反射镜或全反射膜上,整个谐振腔结构形成折叠腔结构,构成激光谐振腔的两个腔镜是增益管一端的输出镜和上述的反射镜或全反射膜,这两个腔镜都是静止固定的,不受测杆移动的影响,从而根本解决系统的稳定性问题。系统的测量分辨率随之提高了一倍,为氦氖激光器中心波长632.8nm的1/16,即39.6nm。系统测量范围也得以提高,从而成为一个可长期稳定工作的测位移传感器。

基本信息
专利标题 :
猫眼折叠腔位移自传感氦氖激光器系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1746614A
申请号 :
CN200510086679.1
公开(公告)日 :
2006-03-15
申请日 :
2005-10-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
许志广张书练李岩
申请人 :
清华大学
申请人地址 :
100084北京市北京100084-82信箱
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN200510086679.1
主分类号 :
G01B11/02
IPC分类号 :
G01B11/02  H01S3/08  H01S3/223  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2016-12-07 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101691181527
IPC(主分类) : G01B 11/02
专利号 : ZL2005100866791
申请日 : 20051021
授权公告日 : 20070523
终止日期 : 20151021
2007-05-23 :
授权
2006-05-10 :
实质审查的生效
2006-03-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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