本发明涉及制备BET比表面积至少为20m²/g的金属氧化物粉末的方法，在该方法中使气溶胶与氧在高于700℃的反应温度下于反应空间中进行反应，然后将所得的粉末与气态物质分离，其中利用多料喷嘴将至少一种液体形式或溶液中的起始材料和至少一种雾化气体加以雾化而得到气溶胶，该气溶胶的与体积相关的平均微滴尺寸D₃₀为30至100μm，和基于微滴总数，大于100μm的气溶胶微滴的数目最高为10％。本发明还涉及利用该方法得到的金属氧化物粉末。