金属导线的制作方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种金属导线的制作方法。首先提供一基板。接着形成一第一金属层于基板表面。然后形成一图案化掩模层于基板上方并覆盖部分第一金属层，且图案化掩模层暴露出预备形成有至少一金属导线的第一金属层表面。接着利用一电镀工艺形成一第二金属层于第一金属层上方。然后移除图案化掩模层。最后利用第二金属层作掩模进行一蚀刻工艺，以移除部分第一金属层，以形成金属导线。
基本信息
专利标题 ：
金属导线的制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1949954A
申请号 ：
CN200510106787.0
公开（公告）日 ：
2007-04-18
申请日 ：
2005-10-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
彭康嘉
申请人 ：
中华映管股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾台北市
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
陶凤波
优先权 ：
CN200510106787.0
主分类号 ：
H05K3/24
IPC分类号 ：
H05K3/24 G02F1/1343 G02F1/1345 H01L21/3205
法律状态
2010-01-13 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-06-13 ：
实质审查的生效
2007-04-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
