平版印刷设备和装置制造方法

专利权的终止

摘要

为了使平版印刷设备的图案支架或衬底台能够具有高加速度和高移动速度，该图案支架和衬底台之一由一个用于相当大的位移的驱动器支承，而省去一个用于精确安置的驱动器。该图案支架和衬底台中的另一个由一个驱动器组件支承，该组件包括一个用于精确安置的驱动器和一个用于相当大的位移的驱动器。通过提供这样一种控制系统而获得图案形成装置和衬底的精确对准，该控制系统适合于安置图案支架和衬底台中的另一个，使得图案支架和衬底台之一的定位误差受到另一个的安置的补偿。

基本信息

专利标题：

平版印刷设备和装置制造方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1760762A

申请号：

CN200510108562.9

公开（公告）日：

2006-04-19

申请日：

2005-10-11

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

H·H·M·科西H·布特勒R·C·坤斯特H·K·范德肖特Y·K·M·德沃斯

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰维尔德霍芬

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

周备麟

优先权：

CN200510108562.9

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20 G03F9/00 G05D3/12 H01L21/027