本发明公开了一种准常压薄膜的制备方法，包括以下步骤：第一步，将磷酸三乙酯、硼酸三乙酯和四乙氧基硅烷的液体分别输入各自对应的管道；第二步，通过汽化阀提高磷酸三乙酯的温度达到137℃－143℃并使之汽化、通过汽化阀使硼酸三乙酯和四乙氧基硅烷汽化；第三步，调整串联气体管道的温度到105℃－110℃；第四步，被汽化的磷酸三乙酯、硼酸三乙酯和四乙氧基硅烷进入腔体进行反应，产生可应用于层间绝缘膜的硼磷硅玻璃和副生成物。本发明通过提高气体管道的温度至110℃，将磷酸三乙酯提高至140℃，提高汽化性，不仅能延长汽化阀的寿命，还降低了生产成本。