检查夹具及检查装置

授权

摘要

本发明的课题是，在利用能够屈曲具有弹性的探针的挠曲进行检查用的检查夹具中，实现尽管可以容易地进行探针的替换，还是可以采用简单结构的检查夹具的新的结构。本发明的检查夹具(10)具备：具有有向检查对象的探针引导方向的前端侧插通孔的前端侧支持体(11)，在前端侧支持体(11)的后方保持间隔配置、具有沿相对于前端侧插通孔的探针引导方向倾斜的探针引导方向的后端侧插通孔的后端侧支持体(12)，具有能够使其前端在检查对象侧出没地插通前端侧插通孔的前端侧部分以及插通后端侧插通孔的后端侧部分的、可屈曲的具有弹性的探针(14)，以及配置于后端侧支持体(12)的后方、与后端侧部分接触的电极(16)；探针(14)的前端侧部分配置于相对后端侧部分向后端侧插通孔的探针引导方向倾斜侧偏移的位置上。

基本信息

专利标题：

检查夹具及检查装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1854744A

申请号：

CN200510113454.0

公开（公告）日：

2006-11-01

申请日：

2005-10-09

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

土桥贤治小泽浩二伊藤光彦两角和彦饭野伸治

申请人：

株式会社光阳科技

申请人地址：

日本国长野县

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

汪惠民

优先权：

CN200510113454.0

主分类号：

G01R31/02

IPC分类号：

G01R31/02