位置检测装置和方法
授权
摘要
一种位置检测装置，包括：入射单元，其用来从光源的光束形成平行光束，并以由光束分离器从平行光束获得的分离光束分别被以某一角度入射到基准面和测量目标表面的方式将平行光束提供给光束分离器；用来反射分离光束的反射单元，所述分离光束已经被基准面和测量目标表面反射并通过光束分离器结合到光路上，以作为沿着光路的平行光束提供给光束分离器，并通过干涉从所述反射单元提供、由光束分离器分离、由基准面和测量目标表面反射并被所述光束分离器再次结合到光路上的返回光束来产生相应于分离光束的相位差的信号。
基本信息
专利标题 ：
位置检测装置和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1760633A
申请号 ：
CN200510113674.3
公开（公告）日 ：
2006-04-19
申请日 ：
2005-10-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
石塚公
申请人 ：
佳能株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
王萍
优先权 ：
CN200510113674.3
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02 G01B11/02 G01D5/26 G01D5/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2008-10-15 ：
授权
2006-06-07 ：
实质审查的生效
2006-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
