标记位置检测装置、描绘装置及标记位置检测方法
授权
摘要
本发明的描绘装置包括作为检测被工作台保持的基板上的标记的位置的标记位置检测装置的功能。描绘装置在使工作台移动期间，获取表示基板上的包括标记的设计上的位置的第一区域的第一图像(83a)和表示与第一区域仅一部分重叠的第二区域的两个第二图像(83b)。而且，合成第一图像(83a)和第二图像(83b)而生成合成图像(85)。描绘装置基于合成图像(85)求取标记的位置。由此，能够容易地扩大视野而不降低拍摄部的分辨率，并且能够降低基板上的标记的位置的检测错误。
基本信息
专利标题 ：
标记位置检测装置、描绘装置及标记位置检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110631476A
申请号 ：
CN201910547413.4
公开（公告）日 ：
2019-12-31
申请日 ：
2019-06-21
授权号 ：
CN110631476B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
田中尚武
申请人 ：
株式会社斯库林集团
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
隆天知识产权代理有限公司
代理人 ：
向勇
优先权 ：
CN201910547413.4
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00 G03F9/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2020-01-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/00
申请日 : 20190621
申请日 : 20190621
2019-12-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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