水相碱性光阻清洗组合物及其使用方法
专利权的终止
摘要
本发明涉及一种水相碱性光阻清洗组合物，其包括，以组合物总重量计，1－50重量％的至少一种碱性化合物；0.1－20重量％的至少一种二胺类化合物及30－98.9重量％的水，且组合物的pH值大于12。本发明的光阻清洗组合物，可依照实际制程需求于使用前予以升温及/或稀释。另外，由于未包含有机溶剂，因此能安全的在一般操作环境下使用。
基本信息
专利标题 ：
水相碱性光阻清洗组合物及其使用方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1966635A
申请号 ：
CN200510115307.7
公开（公告）日 ：
2007-05-23
申请日 ：
2005-11-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
蔡旺亨刘文政陈建清
申请人 ：
长兴开发科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王允方
优先权 ：
CN200510115307.7
主分类号 ：
C11D3/02
IPC分类号 ：
C11D3/02 C11D3/30 C11D1/94 G02B5/23 G03F7/42
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C11
动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛
C11D
洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收
C11D3/00
包括在C11D1/00组内之洗涤组合物的其他配料成分
C11D3/02
无机化合物
法律状态
2019-11-05 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C11D 3/02
申请日 : 20051114
授权公告日 : 20090408
终止日期 : 20181114
申请日 : 20051114
授权公告日 : 20090408
终止日期 : 20181114
2009-04-08 ：
授权
2007-07-18 ：
实质审查的生效
2007-05-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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