表面性状测定装置
专利权的终止
摘要
一种表面性状测定装置，其具有近场测定机构(30)，该近场测定机构(30)具有：近场探针(33)，其在受到激光照射时在顶端部形成近场光；激光源(35)，其发射出照射在该近场探针上的激光；光子检测器(38)，其检测近场探针与被测定物(1)接近时所产生的近场光的散射效果；驱动器(32)，其使近场探针和被测定物朝向彼此接近、离开的方向位移，该表面性状测定装置还具有激光测长机构(20)，该激光测长机构(20)利用激光来测定基准面(24)与位于近场探针的顶端部附近的被测定物之间的相对距离，或者基准位置与近场探针之间的相对距离。
基本信息
专利标题 ：
表面性状测定装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1769837A
申请号 ：
CN200510117189.3
公开（公告）日 ：
2006-05-10
申请日 ：
2005-11-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
日高和彦
申请人 ：
株式会社三丰
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
韩登营
优先权 ：
CN200510117189.3
主分类号 ：
G01B11/30
IPC分类号 ：
G01B11/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/275
••用于检测轮子准直度
G01B11/30
用于计量表面的粗糙度和不规则性
法律状态
2021-10-19 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01B 11/30
申请日 : 20051102
授权公告日 : 20090617
终止日期 : 20201102
申请日 : 20051102
授权公告日 : 20090617
终止日期 : 20201102
2009-06-17 ：
授权
2007-11-21 ：
实质审查的生效
2006-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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