表面性状测定用探针以及采用该探针的显微镜
专利权的终止
摘要
一种表面性状测定用探针(60)，具有：探针头(65)、第1支承体(61)、第2支承体(62)、压电元件(63)、平衡器(64)。第1支承体具有：第1支承部(611)；3根梁(613)，其从等角度配置于第1支承部上的位置朝向中央延伸，用于将探针头(65)支承于其顶端。第2支承体(62)具有：第2支承部(621)；保持部(622)，其由多根梁(623)支承，该多根梁从等角度配置于该第2支承部上的位置朝向中央延伸。压电元件(63)配置于探针头与保持部之间，且沿轴向振动。
基本信息
专利标题 ：
表面性状测定用探针以及采用该探针的显微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1769860A
申请号 ：
CN200510117193.X
公开（公告）日 ：
2006-05-10
申请日 ：
2005-11-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
日高和彦
申请人 ：
株式会社三丰
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
韩登营
优先权 ：
CN200510117193.X
主分类号 ：
G01N13/10
IPC分类号 ：
G01N13/10 G01N13/12 G01N13/14 G01N13/16 G01B11/30 G12B21/02 G12B21/20
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法律状态
2021-10-19 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01N 13/10
申请日 : 20051102
授权公告日 : 20100811
终止日期 : 20201102
申请日 : 20051102
授权公告日 : 20100811
终止日期 : 20201102
2010-08-11 ：
授权
2007-11-21 ：
实质审查的生效
2006-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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