单块正交探测器
专利权的终止
摘要

本发明涉及一种从包括由干涉仪提供的正交偏振物光束和参考光束部分的输入光束中产生四种信号的小型单块正交探测器。使用两个棱镜之间的第一分束界面,在棱镜的两个空气界面表面反射,及使用第二分束元件,单个输入光束可以分成四个输出光束。通过在分束表面上涂有对相对反射光束的透射光束的部分产生不同相移的涂层,相应不同的预定相移可以施加在相应的输出光束上。四个相对相移输出光束通过偏振器射向相应的探测器以提供用来消除许多常用模式误差的四个信号且非常精确地确定原始输入光束的部分之间的相位差。

基本信息
专利标题 :
单块正交探测器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1766519A
申请号 :
CN200510118599.X
公开(公告)日 :
2006-05-03
申请日 :
2005-10-26
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
D·W·瑟司克M·菲德曼
申请人 :
株式会社三丰
申请人地址 :
日本神奈川县
代理机构 :
上海专利商标事务所有限公司
代理人 :
李玲
优先权 :
CN200510118599.X
主分类号 :
G01B9/02
IPC分类号 :
G01B9/02  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2021-10-12 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01B 9/02
申请日 : 20051026
授权公告日 : 20090916
终止日期 : 20201026
2009-09-16 :
授权
2007-10-24 :
实质审查的生效
2006-05-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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