确定荧光标记的位置的方法

专利权的终止

摘要

本发明描述以高空间分辨率确定试样(4)中荧光标记的位置的方法。为此，用激励光束(11)照射试样(4)，同时用粒子束(3)扫描试样(4)。扫描时，标记被粒子束(3)碰撞，并被破坏，这样被碰撞的标记不再发出荧光辐射。这就导致荧光辐射通量下降。检测这种下降。由于在标记被破坏的瞬间粒子束(3)相对于试样的位置是已知的，因此也就可以知道试样中标记的位置。

基本信息

专利标题：

确定荧光标记的位置的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1789982A

申请号：

CN200510124700.2

公开（公告）日：

2006-06-21

申请日：

2005-11-09

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

B·布伊斯塞R·F·M·亨德里克斯

申请人：

FEI公司;皇家飞利浦电子股份有限公司

申请人地址：

美国俄勒冈州

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

杨凯

优先权：

CN200510124700.2

主分类号：

G01N21/64

IPC分类号：

G01N21/64 G01N23/00 G01N35/00