一种去除附着于氧化钇零件表面聚合物薄膜的清洗方法
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本发明提供了一种去除附着于氧化钇零件表面聚合物薄膜的清洗方法，它包括下列步骤：浸泡、粗洗和精洗。本发明所述的清洗方法操作简单，耗时少，清洗效果理想，对氧化钇损伤小。
基本信息
专利标题 ：
一种去除附着于氧化钇零件表面聚合物薄膜的清洗方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1850362A
申请号 ：
CN200510126271.2
公开（公告）日 ：
2006-10-25
申请日 ：
2005-12-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陶林
申请人 ：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请人地址 ：
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
练光东
优先权 ：
CN200510126271.2
主分类号 ：
B08B3/04
IPC分类号 ：
B08B3/04 B08B3/12 H01L21/00 H01L21/3065
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
法律状态
2018-08-24 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : B08B 3/04
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
2009-07-08 ：
授权
2006-12-20 ：
实质审查的生效
2006-10-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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