一种检测刻蚀机气路柜漏率的方法
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本发明涉及半导体刻蚀领域，本发明提供了一种测量刻蚀机气路柜漏率的方法，本发明的方法的漏率检测程序启动后，自动将冲洗、封闭气路柜，并设定质量流量校验计的工作参数，最后得出气路柜的漏率值，本发明的技术方案的测量过程全部由计算机完成，使使用者能便捷的获得漏率值。
基本信息
专利标题 ：
一种检测刻蚀机气路柜漏率的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1865884A
申请号 ：
CN200510126444.0
公开（公告）日 ：
2006-11-22
申请日 ：
2005-12-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
熊坤
申请人 ：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请人地址 ：
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
王常风
优先权 ：
CN200510126444.0
主分类号 ：
G01M3/26
IPC分类号 ：
G01M3/26 H01L21/306
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/26
通过测量流体的增减速率，例如，用压力响应装置，用流量计
法律状态
2018-08-24 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G01M 3/26
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
2008-09-03 ：
授权
2007-01-17 ：
实质审查的生效
2006-11-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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