本发明涉及通信领域。本发明提出一种刻蚀设备子系统通信方法及其装置，逻辑上需要在服务器端和客户端之间增加通信装置，物理上放置在服务器端且独立于服务器，其中包括连接池和协议分析器，用于完成连接的建立和管理以及数据发送接收时格式的解析功能。本发明的优点和积极效果在于可以降低了每次通信时建立连接所花费的时间和网络带宽，引入连接复用的概念，提高了通信速度，降低了网络的负担。而且克服了通信中数据冗余度大的缺点，数据格式紧凑，利用率高，解决了网络带宽的浪费严重的弊端，更高程度提高了网络通讯的效率，提高了半导体设备子系统间通信的实时性。