软模及其制造方法
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摘要
本发明公开了一种软模及其制造方法。首先形成在基板上具有图案的母模。第一液态高聚物前体形成在母模上并随后被部分固化。具有高UV透射率的支撑膜粘接在部分固化的高聚物上。用连接剂处理粘接的支撑膜和部分固化的高聚物，并且在部分固化的高聚物和支撑膜上形成第二液态高聚物前体。第二液态高聚物前体和部分固化的高聚物被随后固化以形成模。完全固化的模从母模剥离以形成在一个表面上具有预定形状的软模。
基本信息
专利标题 ：
软模及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1885168A
申请号 ：
CN200510127522.9
公开（公告）日 ：
2006-12-27
申请日 ：
2005-12-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
蔡基成曹奎哲金珍郁李昌熙
申请人 ：
LG.菲利浦LCD株式会社
申请人地址 ：
韩国首尔
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN200510127522.9
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 H01L21/027
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2009-12-30 ：
授权
2007-02-14 ：
实质审查的生效
2006-12-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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