采用软模形成精细图案的方法
授权
摘要
本发明公开了一种采用软模形成精细图案的方法，该方法包括采用软模在基板上形成精细图案；通过等离子体对其上形成有精细图案的基板进行处理；以及在其上形成有精细图案的基板上沉积无机膜和有机膜至少其中之一。
基本信息
专利标题 ：
采用软模形成精细图案的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1886031A
申请号 ：
CN200510126152.7
公开（公告）日 ：
2006-12-27
申请日 ：
2005-11-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金珍郁朴美暻
申请人 ：
LG.菲利浦LCD株式会社
申请人地址 ：
韩国首尔
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN200510126152.7
主分类号 ：
H05K3/10
IPC分类号 ：
H05K3/10 H01L21/48 G02F1/133
法律状态
2010-09-01 ：
授权
2007-02-14 ：
实质审查的生效
2006-12-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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