图案形成方法和图案形成装置
专利权的终止
摘要
本发明提供一种图案形成方法及图案形成装置，该图案形成装置(1)包括用于将图案形成材料从多个喷射口喷射到基板(9)的主表面上的喷射部件(41)。通过工作台移动机构(2)，喷射部件(41)沿着基板(9)的主表面在一方向上相对于基板(9)移动，由此在基板(9)上形成多个线形图案元件。在形成该线形图案元件的过程中，通过喷射口移动机构(44)周期性地改变多个喷射口相对于基板(9)的移动速度，且在每个线形图案元件(91)中形成节部，每个节部沿与线形图案元件(91)延伸方向相垂直的方向扩展。这就使在从多个喷射口喷射图案形成材料的同时可以在基板(9)上恰当地形成类似于格子状结构的图案。
基本信息
专利标题 ：
图案形成方法和图案形成装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1773650A
申请号 ：
CN200510113756.8
公开（公告）日 ：
2006-05-17
申请日 ：
2005-10-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
矢部学
申请人 ：
大日本网目版制造株式会社
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
隆天国际知识产权代理有限公司
代理人 ：
王玉双
优先权 ：
CN200510113756.8
主分类号 ：
H01J9/02
IPC分类号 ：
H01J9/02 H01J17/04 H01J11/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J9/00
专用于制造放电管、放电灯及其部件的设备和方法；从放电管或灯回收材料
H01J9/02
电极或电极系统的制造
法律状态
2011-12-21 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101156317568
IPC(主分类) : H01J 9/02
专利号 : ZL2005101137568
申请日 : 20051014
授权公告日 : 20090204
终止日期 : 20101014
号牌文件序号 : 101156317568
IPC(主分类) : H01J 9/02
专利号 : ZL2005101137568
申请日 : 20051014
授权公告日 : 20090204
终止日期 : 20101014
2009-02-04 ：
授权
2006-07-12 ：
实质审查的生效
2006-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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