本发明的目的在于，通过使感光层中所含的粘合剂的I/O值及玻璃化温度都在一定的数值范围内，来提供在析像度及遮盖性方面优良，而且在显影性方面也优良，并且在抗蚀剂剥离性方面优良的图案形成材料；以及具备了该图案形成材料的图案形成装置及使用了该图案形成材料的图案形成方法。为此，提供一种图案形成材料，其特征是，在支撑体上至少具有感光层，该感光层含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，该粘合剂的I/O值为0.300～0.650，并且酸价为130～250(mgKOH/g)。所述粘合剂含有共聚物，该共聚物含有30质量％以上的构成I/O值为0.35以下的均聚物的单体。