图案形成材料以及图案形成装置及永久图案形成方法

发明专利申请公布后的驳回

摘要

本发明的目的在于提供一种图案形成材料，其是一种以形成阻焊剂之类的永久图案为目的、通过将高透明的物质用作支撑体并规定总厚度而可以形成高灵敏度而且更高精细的图案的图案形成材料。所以，本发明的图案形成材料至少具有支撑体和在该支撑体上的感光层及保护薄膜，该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂及热交联剂，同时支撑体、感光层以及保护薄膜的总厚度为30～200μm，而且对感光层进行曝光、显影时，使感光层的曝光部分的厚度在曝光及显影后不发生变化的、曝光中使用的光的最小能量为0.1～200mJ/cm²。

基本信息

专利标题：

图案形成材料以及图案形成装置及永久图案形成方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101107565A

申请号：

CN200680002513.X

公开（公告）日：

2008-01-16

申请日：

2006-01-11

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

高岛正伸

申请人：

富士胶片株式会社

申请人地址：

日本国东京都

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

朱丹

优先权：

CN200680002513.X

主分类号：

G03F7/004

IPC分类号：

G03F7/004 G03F7/027 G03F7/033 G03F7/09 G03F7/11 G03F7/20