图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供一种图案形成材料，其中，具有支撑体和在该支撑体上至少具有的感光层而成，该支撑体的浊度值为5.0％以下，而且该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，同时所述聚合性化合物包括在分子中具有1个聚合性基的化合物或者在分子中至少具有3个以上聚合性基的化合物，而且在对所述感光层进行曝光显影时，使该感光层的曝光部分的厚度在该曝光及显影后不发生变化的该曝光中使用的光的最小能量为0.1～20mJ/cm2。
基本信息
专利标题 ：
图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101142525A
申请号 ：
CN200580049062.0
公开（公告）日 ：
2008-03-12
申请日 ：
2005-12-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
南一守高岛正伸若田裕一
申请人 ：
富士胶片株式会社
申请人地址 ：
日本国东京都
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
朱丹
优先权 ：
CN200580049062.0
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004 G03F7/027 G03F7/033 G03F7/09 G03F7/20
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
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G03F
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G03F7/00
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G03F7/004
感光材料
法律状态
2011-03-23 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101077081336
IPC(主分类) : G03F 7/004
专利申请号 : 2005800490620
公开日 : 20080312
号牌文件序号 : 101077081336
IPC(主分类) : G03F 7/004
专利申请号 : 2005800490620
公开日 : 20080312
2008-05-07 ：
实质审查的生效
2008-03-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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