图案形成材料、以及图案形成装置和图案形成方法
专利权的终止
摘要

本发明的目的在于,提供能够有效地抑制感光层的感度降低并且可以形成更高精细图案的图案形成材料、以及具备该图案形成材料的图案形成装置和使用了上述图案形成材料的图案形成方法。因此,提供图案形成材料、以及具备该图案形成材料的图案形成装置和使用该图案形成材料进行曝光的图案形成方法,所述图案形成材料的特征在于:在支撑体上至少具有感光层,该支撑体的浊度值为5.0%以下,该感光层含有选自具有酸性核的色素、具有碱性核的色素和荧光增白剂的至少1种作为增感剂,并且在对该感光层进行曝光、显像时,在该显像的前后不使该感光层曝光的部分的厚度发生变化的上述曝光中所使用的光的最小能量为0.1~20(mJ/cm2)。

基本信息
专利标题 :
图案形成材料、以及图案形成装置和图案形成方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101124516A
申请号 :
CN200580040184.3
公开(公告)日 :
2008-02-13
申请日 :
2005-09-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
高岛正伸松本浩隆
申请人 :
富士胶片株式会社
申请人地址 :
日本国东京都
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
朱丹
优先权 :
CN200580040184.3
主分类号 :
G03F7/004
IPC分类号 :
G03F7/004  G03F7/20  H05K3/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2013-11-20 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101542122888
IPC(主分类) : G03F 7/004
专利号 : ZL2005800401843
申请日 : 20050928
授权公告日 : 20120118
终止日期 : 20120928
2012-01-18 :
授权
2008-04-09 :
实质审查的生效
2008-02-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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