图案形成系统、图案形成方法以及电子设备

专利申请权、专利权的转移

摘要

本发明的图案形成系统，是具备抽出已被卷取的带状基板(11)的供带盘(10)、卷取已被抽出的所述带状基板(11)的卷线筒(15)、在供带盘(10)与卷线筒(15)之间向带状基板(11)喷出液滴形成图案的液滴喷出装置(20)的图案形成系统，液滴喷出装置(20)具备吸附带状基板(11)同时可以移动的工作台(4)，在带状基板(11)的纵向上的工作台(4)的两个端部上，设有带状基板(11)的下垂机构(50)、(60)。由此，本发明提供一种可以使带状基板(11)的位置调整容易化而形成准确的图案的图案形成系统。

基本信息

专利标题：

图案形成系统、图案形成方法以及电子设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1784124A

申请号：

CN200510118732.1

公开（公告）日：

2006-06-07

申请日：

2005-10-27

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

樱田和昭上原升新馆刚

申请人：

精工爱普生株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

李香兰

优先权：

CN200510118732.1

主分类号：

H05K3/14

IPC分类号：

H05K3/14 G09F9/00 H01L21/60