图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法

专利权的终止

摘要

本发明提供一种可以以形成阻焊剂(solder resist)之类的永久图案为目的，通过使用高透明的物质作为支撑体，形成得到的抗蚀剂(resist)面形状良好且更高精细的图案的图案形成材料以及具备该图案形成材料的图案形成装置及使用该图案形成材料的图案形成方法。所以，该图案形成材料以及具备该图案形成材料的图案形成装置及使用该图案形成材料进行曝光的图案形成方法的特征在于，在支撑体上至少具有感光层，该支撑体的浊度值为5.0％以下，而且该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂、热交联剂及杂稠环系化合物。

基本信息

专利标题：

图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101084470A

申请号：

CN200580043931.9

公开（公告）日：

2007-12-05

申请日：

2005-12-16

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

高岛正伸池田贵美

申请人：

富士胶片株式会社

申请人地址：

日本国东京都

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

朱丹

优先权：

CN200580043931.9

主分类号：

G03F7/004

IPC分类号：

G03F7/004 G03F7/027 G03F7/033 G03F7/09 G03F7/20 H01L21/027 H05K3/28