本发明提供一种可以通过减轻在图案形成材料的被曝光面上形成的所述图案的析像度的不均或浓度的不均，来高精细而且有效地形成所述图案的图案形成方法。所以，本发明提供一种图案形成方法，其特征在于，在被处理基体上层叠在支撑体上具有感光层的图案形成材料中的该感光层之后，相对于对该感光层，使用曝光头(其中，该曝光头为具备光照射机构以及具有n个排列成二维状的描绘部的光调制机构且被配置成所述描绘部的列方向相对扫描方向呈规定的设定倾斜角度θ)，所述方法包括：对于所述曝光头，利用使用描绘部指定机构，指定用于N重曝光的所述描绘部的工序；对于所述曝光头，利用描绘部控制机构，进行所述描绘部的控制的工序；相对于所述感光层，使所述曝光头沿扫描方向相对地移动，从而进行曝光的工序。