金属图案形成材料、交联性单体及金属图案的形成方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要

本发明提供化学吸附金属的金属图案的形成方法及用于该方法的图案形成材料、交联性单体。该方法具备下述工序:在基体的表面,使用图案形成材料,通过光刻法形成图案的工序,所述图案形成材料由组成中具有羧基及磺酸基中的至少一种的(A)母体聚合物形成,所述光刻法包含用pH小于7的纯水液体的显影工序和冲洗工序;将该图案浸渍在含有金属化合物的水溶液中,使图案化学吸附金属离子或金属化合物络合离子,形成含有金属的图案的工序;烧成含有金属的图案,形成含有金属单体或含有金属单体和金属氧化物的金属图案的工序。另外,交联性单体中使用含有多元醇与N-羟甲基(甲基)丙烯酰胺的缩合物的单体。

基本信息
专利标题 :
金属图案形成材料、交联性单体及金属图案的形成方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101111471A
申请号 :
CN200580047219.6
公开(公告)日 :
2008-01-23
申请日 :
2005-12-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
高梨博宫泽祥三工藤知哉
申请人 :
东京应化工业株式会社
申请人地址 :
日本神奈川县
代理机构 :
北京市金杜律师事务所
代理人 :
杨宏军
优先权 :
CN200580047219.6
主分类号 :
C07C233/18
IPC分类号 :
C07C233/18  C23C18/06  C08F20/58  C08F290/12  G03F7/027  H01B13/00  H01L21/3205  H05K3/18  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C07
有机化学
C07C
无环或碳环化合物
C07C233/00
羧酸酰胺
C07C233/01
羧酰胺基的碳原子连接在氢原子或非环碳原子上
C07C233/16
至少1个羧酰胺基的氮原子连接在被单键氧原子取代的烃基的碳原子上
C07C233/17
有由非环碳原子连接在羧酰胺基的氮原子上的取代烃基
C07C233/18
羧酰胺基的碳原子连接在氢原子或无环饱和碳架的碳原子上
法律状态
2011-01-19 :
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101063087281
IPC(主分类) : C07C 233/18
专利申请号 : 2005800472196
公开日 : 20080123
2008-03-12 :
实质审查的生效
2008-01-23 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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