微结构单向弯拉疲劳试验装置

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明公开了一种微结构单向弯拉疲劳试验装置，该装置在一个悬置振动块的一侧设有驱动梳齿对，在悬置振动块的另一侧设有检测振动幅度的检测梳齿对；驱动梳齿对和检测梳齿对的外侧壁通过锚定层固定在硅基底上并分别与连接以产生周期性的静电力的驱动电极和连接感测电路的检测电极连接；其悬置振动块的端部与产生交变应力的试样的一端连接；试样的另一端与接地电极相连；试样与驱动及检测装置为一体性结构；驱动电极连接功率放大器输出的探针；检测电极由探针引出，接入振幅测量电路后与终端控制设备的输入端连接；应用于微纳米技术基础研究领域作用在MEMS系统结构材料多晶硅疲劳特性的研究的微结构单向弯拉疲劳试验装置。

基本信息

专利标题：

微结构单向弯拉疲劳试验装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1789960A

申请号：

CN200510132114.2

公开（公告）日：

2006-06-21

申请日：

2005-12-16

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

丁雷尚德广贾冠华孙国芹李浩群

申请人：

北京工业大学

申请人地址：

100022北京市朝阳区平乐园100号

代理机构：

北京思海天达知识产权代理有限公司

代理人：

魏聿珠

优先权：

CN200510132114.2

主分类号：

G01N3/38

IPC分类号：

G01N3/38