微结构双向弯拉疲劳试验装置
专利权的终止
摘要

本发明公开了一种微结构双向弯拉疲劳试验装置,包括有驱动电极、检测电极和与之相连接的悬置梳齿单元;在圆心相同但直径不同的数个非闭合圆盘状环臂分布有6个梳齿单元;该梳齿单元分为用来驱动整个悬置结构的驱动组和用来测量悬置结构摆动的幅度的检测组;驱动组和检测组交替分布;每个梳齿单元包含一个悬置梳齿和两个位于悬置梳齿两边的固定梳齿;所有梳齿单元的悬置梳齿通过内侧环臂连于一体并最终与直流电极相连;所有驱动梳齿单元两侧的固定梳齿与驱动电极相连,在驱动电极上分别接入两频率相同、相位相反交流电;该微疲劳试验结构装置具有加工容易,操作简便等特点,对MEMS结构强度的研究具有很高的实用价值。

基本信息
专利标题 :
微结构双向弯拉疲劳试验装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1793826A
申请号 :
CN200510132113.8
公开(公告)日 :
2006-06-28
申请日 :
2005-12-16
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
丁雷尚德广贾冠华孙国芹李浩群
申请人 :
北京工业大学
申请人地址 :
100022北京市朝阳区平乐园100号
代理机构 :
北京思海天达知识产权代理有限公司
代理人 :
魏聿珠
优先权 :
CN200510132113.8
主分类号 :
G01N3/38
IPC分类号 :
G01N3/38  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N3/18
••在高温或低温下进行试验
G01N3/32
施加重复力或脉动力
G01N3/38
由电磁装置产生的
法律状态
2011-03-30 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101059717735
IPC(主分类) : G01N 3/38
专利号 : ZL2005101321138
申请日 : 20051216
授权公告日 : 20090506
终止日期 : 20100118
2009-05-06 :
授权
2006-08-23 :
实质审查的生效
2006-06-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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