精细图案的制作装置

专利权的终止

摘要

本发明涉及一种精细图案的制作装置。它包括带有一定处理空间的箱体；设置于所述箱体内部，用于支撑涂覆有感光有机膜的衬底的支撑台；与所述支撑台相隔一段距离，用于在衬底的有机膜上印刻预处理图案，以区分蚀刻及非蚀刻区域的模板；用于驱动所述支撑台，使所述支撑台与模板相接触的驱动装置。

基本信息

专利标题：

精细图案的制作装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1831645A

申请号：

CN200510132959.1

公开（公告）日：

2006-09-13

申请日：

2005-12-29

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

李永哲朴庸硕许经宪周莲

申请人：

显示器生产服务株式会社

申请人地址：

韩国京畿道

代理机构：

北京金信立方知识产权代理有限公司

代理人：

黄威

优先权：

CN200510132959.1

主分类号：

G03F7/00

IPC分类号：

G03F7/00 H01L21/027

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

法律状态

2019-12-13 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G03F 7/00
申请日 : 20051229
授权公告日 : 20090826
终止日期 : 20181229

2014-04-09 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101699924792
IPC(主分类) : G03F 7/00
专利号 : ZL2005101329591
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 显示器生产服务株式会社
变更后权利人 : 威海电美世光机电有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道
变更后权利人 : 264205 山东省威海市经济技术开发区贝卡尔特路88-1号
登记生效日 : 20140319

2009-08-26 ：

授权

2006-11-08 ：

实质审查的生效

2006-09-13 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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2、

CN100533270C.PDF

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