电子发射元件及其制造方法、以及电光学装置、电子仪器
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要

提供一种电子发射特性不均小且容易制造的电子发射元件及其制造方法、和具备电子发射元件的电光学装置、电子仪器。在元件基板(11)上,利用液滴喷出法将导电性功能液(30)进行图案配置,通过干燥而形成导电膜(12)。而且,在导电膜(12)上通过同样的工序将抗蚀剂膜(33)进行图案形成,将抗蚀剂膜(33)作为掩模,将导电膜(12)的外缘部(12a)进行蚀刻而除去。

基本信息
专利标题 :
电子发射元件及其制造方法、以及电光学装置、电子仪器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1801429A
申请号 :
CN200510135780.1
公开(公告)日 :
2006-07-12
申请日 :
2005-12-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
篠崎顺一郎
申请人 :
精工爱普生株式会社
申请人地址 :
日本东京
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
李香兰
优先权 :
CN200510135780.1
主分类号 :
H01J9/02
IPC分类号 :
H01J9/02  H01J1/316  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J9/00
专用于制造放电管、放电灯及其部件的设备和方法;从放电管或灯回收材料
H01J9/02
电极或电极系统的制造
法律状态
2010-07-21 :
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101003336350
IPC(主分类) : H01J 9/02
专利申请号 : 2005101357801
公开日 : 20060712
2006-09-06 :
实质审查的生效
2006-07-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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