改善涂布层均匀质量的工艺方法
专利权的终止
摘要

本发明公开了一种改善涂布层均匀质量的工艺方法,该方法包括下列步骤,首先提供一涂布头以及一基板,利用该涂布头与该基板间的一相对运动使从该涂布头输出的涂料流体可以涂布于基板上;再以一控制方式调节该基板与该涂布头间一涂布珠的压力环境以控制该涂布珠的一上游新月长度或稳定度,使工艺落于一无缺陷的涂布窗域内。通过该方法,本发明分别设计了涂布头的结构以及调整基板与涂布头间的攻角,进而控制涂布珠的压力梯度变化,以提升工艺的良品率。此外,本发明还提供一种方法,通过预测缺陷的频率,并以与该缺陷的频率具有一相位差的一波形来减低涂布珠下游月形的振动,进而达到减少缺陷产生,提高工艺良品率的目的。

基本信息
专利标题 :
改善涂布层均匀质量的工艺方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1990121A
申请号 :
CN200510137697.8
公开(公告)日 :
2007-07-04
申请日 :
2005-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
何无忌麦越汉
申请人 :
财团法人工业技术研究院
申请人地址 :
中国台湾新竹县
代理机构 :
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 :
梁挥
优先权 :
CN200510137697.8
主分类号 :
B05C5/02
IPC分类号 :
B05C5/02  B05C11/02  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射,灌注或让其流到工件表面的装置
B05C5/02
液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来
法律状态
2018-12-21 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : B05C 5/02
申请日 : 20051231
授权公告日 : 20090401
终止日期 : 20171231
2009-04-01 :
授权
2007-08-29 :
实质审查的生效
2007-07-04 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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