粘结卡盘装置
专利权的终止
摘要
一种粘结卡盘装置，通过简单结构的气动机构确实地装卸基板。在保持板(1)的基板侧设有可动膜(3)和粘结部件(4)，该可动膜(3)在开设于该基板侧面(1a)的开口部(1b)内可向与该基板侧面(1a)交叉的方向变形，该粘结构部件(4)与基板(A)相向地进行粘结保持，通过上述可动膜(3)的一次侧空间(5)和二次侧空间(S)的压力差使该可动膜(3)往复移动，由此粘结部件(4)的粘结表面(4a)和基板(A)抵接而粘结保持，同时，通过强制拉开这两者，可不费力地将基板(A)从粘结部件(4)的粘结表面(4a)剥离。
基本信息
专利标题 ：
粘结卡盘装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1985288A
申请号 ：
CN200580023277.5
公开（公告）日 ：
2007-06-20
申请日 ：
2005-09-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
横田道也大谷义和板下光邦
申请人 ：
信越工程株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
何腾云
优先权 ：
CN200580023277.5
主分类号 ：
G09F9/00
IPC分类号 ：
G09F9/00 G02F1/13
IPC结构图谱
G
G部——物理
G09
教育；密码术；显示；广告；印鉴
G09F
显示；广告；标记；标签或铭牌；印鉴
G09F9/00
采用选择或组合单个部件在支架上建立信息的可变信息的指示装置（其中可变信息永久性的连接在可动支架上的入G09F11/00
法律状态
2019-09-17 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G02F 1/1333
申请日 : 20050928
授权公告日 : 20081231
终止日期 : 20180928
申请日 : 20050928
授权公告日 : 20081231
终止日期 : 20180928
2008-12-31 ：
授权
2007-10-24 ：
实质审查的生效
2007-06-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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