构图和膜形成方法、电致发光器件及其制造方法以及电致发光显...
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要

公开了一种构图方法,其包括构图步骤,所述构图步骤包括曝光基底,所述基底包括:(a)衬底;(b)光催化剂层,形成在部分所述衬底上并且包含光催化剂;以及(c)构图层,形成在包括所述衬底(a)和所述光催化剂层(b)的基底的上表面上,所述构图层通过所述光催化剂的作用可分解;由此分解并且去除在所述光催化剂层(c)上的所述构图层,以暴露所述光催化剂层的至少部分上表面。根据该方法,提供高分辨率并且低成本的EL器件和电致发光显示装置。

基本信息
专利标题 :
构图和膜形成方法、电致发光器件及其制造方法以及电致发光显示装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101027608A
申请号 :
CN200580032293.0
公开(公告)日 :
2007-08-29
申请日 :
2005-09-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
福地隆
申请人 :
昭和电工株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
北京市中咨律师事务所
代理人 :
杨晓光
优先权 :
CN200580032293.0
主分类号 :
G03F7/00
IPC分类号 :
G03F7/00  H01L51/40  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2010-08-25 :
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101006992270
IPC(主分类) : G03F 7/00
专利申请号 : 2005800322930
公开日 : 20070829
2007-10-24 :
实质审查的生效
2007-08-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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