通过电容技术感测间隙变化

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明公开了一种通过电容技术来感测间隙变化。在一个实施例中，装置包括第一导电表面和基本上平行于该第一导电表面的第二导电表面、以及基于第一导电表面与第二导电表面之间的间距变化而产生测量值的传感器。该间距变化可以由第一导电表面相对于第二导电表面的偏移而引起，并且该偏移可以是压缩力和/或膨胀力。传感器可以应用将电容变化转换成电压变化和/或频率变化中的至少一种的算法，以产生测量值。该间距变化可以由相对于第二导电表面施加于第一导电表面上方的表面的载荷而引起。

基本信息

专利标题：

通过电容技术感测间隙变化

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101199050A

申请号：

CN200580032893.7

公开（公告）日：

2008-06-11

申请日：

2005-09-28

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

威廉·D·达伦巴赫迪夫亚西姆哈·哈里什

申请人：

北极星传感器公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人：

章社杲

优先权：

CN200580032893.7

主分类号：

H01L23/34

IPC分类号：

H01L23/34