带有含孔径的不透明铬涂层的光学元件及其制造方法
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摘要
基板(310)包括位于基板(310)表面上的不透明的铬涂层(320)，对该铬涂层进行干蚀以形成孔径(340)，其中孔径中的铬低于可检测的极限。一种用于在基板(310)上形成不透明的铬涂层(320)的方法包括：在基板上沉积初始厚度的不透明的铬涂层，沉积的同时没有使用离子辅助或使用了检测不到的离子辅助；以及在使用或不使用离子辅助的情况下沉积该不透明的铬涂层的其余部分。在一个实施方式中，本发明涉及一种有孔的光学元件(300)，它具有透光的基板(310)以及位于该基板上用于定义孔径(340)的不透明的铬涂层(320)。各种材料构成的三层或四层不透明的涂层被设置，其中包括三层的铬/氧化铬/铬涂层。
基本信息
专利标题 ：
带有含孔径的不透明铬涂层的光学元件及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101044016A
申请号 ：
CN200580035935.2
公开（公告）日 ：
2007-09-26
申请日 ：
2005-10-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
L·乌克兰采克R·A·贝尔曼J·M·奎恩塔尔P·A·萨琴科
申请人 ：
康宁股份有限公司
申请人地址 ：
美国纽约州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
沙永生
优先权 ：
CN200580035935.2
主分类号 ：
B32B3/24
IPC分类号 ：
B32B3/24 G03F1/08
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B32
层状产品
B32B
层状产品，即由扁平的或非扁平的薄层，例如泡沫状的、蜂窝状的薄层构成的产品
B32B3/00
实质上由带有外部或内部不连续的或不平整的薄层，或非平面形状的薄层构成的层状产品；形状实质上具有特殊特征的层状产品
B32B3/10
以不连续的薄层为特征的，即带孔的或间隔的材料片形成的
B32B3/24
以带孔的薄层为特征的，如多孔金属网的
法律状态
2009-11-18 ：
授权
2007-11-28 ：
实质审查的生效
2007-09-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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