选择性气敏传感器
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摘要
本发明提供一种选择性气敏传感器，该选择性气敏传感器用于检测是否存在例如氦气的测试气体，包括由选择性透气膜(22)密封的真空壳体(10)。该膜(22)是观察窗的一部分，其中窗玻璃(20)上设有孔，该孔由硅材料制成的膜(22)密封。膜壁(14)的框架(15)通过高真空的软金属密封件(16)连接于壳体(10)。壳体(10)也构成气压传感器(31)的电极之一。
基本信息
专利标题 ：
选择性气敏传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101084433A
申请号 ：
CN200580043974.7
公开（公告）日 ：
2007-12-05
申请日 ：
2005-11-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
维尔纳·格罗斯·布莱
申请人 ：
因菲康有限公司
申请人地址 ：
德国科隆
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
张文
优先权 ：
CN200580043974.7
主分类号 ：
G01N27/62
IPC分类号 ：
G01N27/62 G01M3/20 G01N33/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/62
通过测试气体的电离，例如气溶胶；通过测试放电，例如阴极发射
法律状态
2011-07-20 ：
授权
2008-01-23 ：
实质审查的生效
2007-12-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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