单光子和多光子可聚合的陶瓷前体聚合组合物
专利权的终止
摘要
一种单光子或多光子反应性组合物，包括液体聚硅氮烷前体、多官能的丙烯酸酯添加剂和单光子或多光子光固化组合物。本发明可用于提供陶瓷基微结构，例如耐高温材料，包括可以单独使用或与其他系统集成的诸如微燃烧器、微热交换器、传感器和致动器系统、微流体设备和微光学器件系统等装置。
基本信息
专利标题 ：
单光子和多光子可聚合的陶瓷前体聚合组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101124520A
申请号 ：
CN200580045336.9
公开（公告）日 ：
2008-02-13
申请日 ：
2005-12-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
大卫·S·阿尼白峰罗伯特·J·德沃凯瑟琳·A·莱瑟达勒
申请人 ：
3M创新有限公司
申请人地址 ：
美国明尼苏达州
代理机构 ：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
郭国清
优先权 ：
CN200580045336.9
主分类号 ：
G03F7/075
IPC分类号 ：
G03F7/075 B29C67/00 C08G77/452 C08G77/54 C08F283/12 C08L83/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/075
含硅的化合物
法律状态
2018-02-09 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G03F 7/075
申请日 : 20051227
授权公告日 : 20121107
终止日期 : 20161227
申请日 : 20051227
授权公告日 : 20121107
终止日期 : 20161227
2012-11-07 ：
授权
2008-04-09 ：
实质审查的生效
2008-02-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
