探测装置
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明公开了一种探测装置，探测装置包括机械装置。机械装置包括基座、减震器、移动机械装置和台架，台架经由基座连接至接地端子。探测器位于台架上方，通过信号电缆将探测器连接至测量装置的测量端子。信号电缆的连接端子与测量装置的测量端子相连。屏蔽罩位于玻璃基板上的被测器件的上方，其中玻璃基板由台架支撑，屏蔽罩的面积不小于被测器件的面积且不大于被测器件面积的4倍。屏蔽罩接地。
基本信息
专利标题 ：
探测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1804637A
申请号 ：
CN200610000571.0
公开（公告）日 ：
2006-07-19
申请日 ：
2006-01-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
渊山正毅清田典靖岸田明人
申请人 ：
株式会社东京阴极研究所;安捷伦科技有限公司
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
程伟
优先权 ：
CN200610000571.0
主分类号 ：
G01R1/04
IPC分类号 ：
G01R1/04 G09G3/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/04
外壳；支承构件；端子装置
法律状态
2010-01-27 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-03-12 ：
实质审查的生效
2006-07-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN1804637A.PDF
PDF下载
