一种有机碱腐蚀介质的稀土抛光液
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摘要
本发明属于化学机械抛光领域。现有日本的几种抛光液产品主要为金刚石磨料的碱性溶液，由于其中磨粒粒径大小不均匀，不能很好的解决机械作用造成的损伤和应力的问题，无法达到光滑镜面的目的。本发明提供的一种有机碱腐蚀介质的稀土抛光液，包括磨料二氧化铈和腐蚀剂有机碱三乙醇胺，重量百分比含量为二氧化铈0.5％～5％、三乙醇胺为0.05～1.0％，其余为H2O。本发明的抛光液中还可包含0.25％～1.0％的氧化剂铁氰化钾。上述抛光液在加入氧化剂铁氰化钾还可同时加入重量百分含量为5％～15％过氧化氢。本发明的抛光液用于单晶硅片表面抛光，克服了使用现有抛光液中磨料硬度高造成的表面划伤和选择其他种类腐蚀介质带来的缺陷，获得了理想的光滑镜面抛光效果。
基本信息
专利标题 ：
一种有机碱腐蚀介质的稀土抛光液
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1807540A
申请号 ：
CN200610001059.8
公开（公告）日 ：
2006-07-26
申请日 ：
2006-01-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
聂祚仁梅燕韩业斌邹景霞王艳丽
申请人 ：
北京工业大学
申请人地址 ：
100022北京市朝阳区平乐园100号
代理机构 ：
北京思海天达知识产权代理有限公司
代理人 ：
张慧
优先权 ：
CN200610001059.8
主分类号 ：
C09K3/14
IPC分类号 ：
C09K3/14 H01L21/304
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09K
不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用
C09K3/00
不包含在其他类目中的材料
C09K3/14
防滑材料；研磨材料
法律状态
2008-01-09 ：
授权
2006-09-20 ：
实质审查的生效
2006-07-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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