热光学效应型光导波路元件及其制造方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供以低成本、低消耗电力、低热应力，量产性优越的热光学效应型光导波路元件及其制造方法。热光学效应型光导波路元件在基材上具备光导波路以及使该光导波路产生热光学效应的薄膜加热器。并且，热光学效应型光导波路元件具备沿与上述薄膜加热器对应的光导波路芯的至少一侧实际上与该光导波路芯平行地配置的热隔离槽。此外，热光学效应型光导波路元件的制造方法是在基材上用聚合物材料形成上述光导波路的工序中，与该光导波路同时形成在光导波路芯附近配置的热隔离槽。
基本信息
专利标题 ：
热光学效应型光导波路元件及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1811499A
申请号 ：
CN200610002703.3
公开（公告）日 ：
2006-08-02
申请日 ：
2006-01-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
吴玉英
申请人 ：
株式会社精工技研
申请人地址 ：
日本千叶县
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
张敬强
优先权 ：
CN200610002703.3
主分类号 ：
G02B6/12
IPC分类号 ：
G02B6/12 G02B6/13 G03F7/20 G02F1/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导；包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/10
光波导式的
G02B6/12
集成光路类型
法律状态
2008-03-19 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-09-27 ：
实质审查的生效
2006-08-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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