本发明公开了自动测试设备校准数据的生成和使用。在一个实施例中，接收对执行自动测试设备校准处理的请求。该请求与一个或多个测试设置相关联。在接收该请求后，标识基于测试设置的若干校准填充点。然后针对测试设置和校准填充点二者生成校准数据。在另一实施例中，接收对使用自动测试设备执行一个或多个经校准的测试过程的请求，并且结合执行经校准的测试过程中的至少一个，从已有校准数据导出校准数据。