磁性颗粒薄膜材料及其制备方法和应用
专利权的终止
摘要
本发明涉及磁性颗粒薄膜材料及其制备方法和应用。它是在基片上制成磁性颗粒薄膜，磁性颗粒薄膜的组成是(NiFe) xGe1－x，其中x为镍铁合金颗粒所占的体积百分比，0.52～0.58，薄膜厚度在4～8纳米。本发明的磁性颗粒薄膜采用磁控溅射法制备，先将高纯度的氩气通入真空室，然后将超高真空闸板阀的开启度降为20％；锗靶上加25瓦的射频功率，根据成分的要求，在镍铁合金靶上加以12～20瓦的直流功率。本发明的磁性颗粒薄膜具有制备工艺简单、成本低、灵敏度高、工作温度范围宽、器件尺寸小等特点，因而在航空、航天、军事等领域具有广阔的应用前景。
基本信息
专利标题 ：
磁性颗粒薄膜材料及其制备方法和应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1805079A
申请号 ：
CN200610013057.0
公开（公告）日 ：
2006-07-19
申请日 ：
2006-01-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘晖王雅欣王健
申请人 ：
南开大学
申请人地址 ：
300071天津市卫津路94号南开大学信息学院
代理机构 ：
天津市学苑有限责任专利代理事务所
代理人 ：
赵尊生
优先权 ：
CN200610013057.0
主分类号 ：
H01F10/14
IPC分类号 ：
H01F10/14 H01F41/18 H01F41/16 G01R33/09 H01L43/06 H01L43/12
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01F
磁体；电感；变压器；磁性材料的选择
H01F10/00
磁性薄膜，如单畴结构的
H01F10/08
按磁层的特性区分的
H01F10/10
按成分区分的
H01F10/12
是金属或合金
H01F10/14
含有铁或镍的
法律状态
2011-03-23 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101059689170
IPC(主分类) : H01F 10/14
专利号 : ZL2006100130570
申请日 : 20060116
授权公告日 : 20080604
终止日期 : 20100219
号牌文件序号 : 101059689170
IPC(主分类) : H01F 10/14
专利号 : ZL2006100130570
申请日 : 20060116
授权公告日 : 20080604
终止日期 : 20100219
2008-06-04 ：
授权
2006-09-13 ：
实质审查的生效
2006-07-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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