本发明公开了一种锆英砂沸腾氯化反应中产生的四氯化硅的回收提纯方法，它包括：1.在锆英砂沸腾氯化系统的末级冷凝器内采用布袋过滤器分离四氯化锆与四氯化硅；2.分离后的四氯化硅气体进入淋洗塔，被预先冷却的液态四氯化硅淋洗回收；3.回收得到的液态四氯化硅经过两级蒸馏釜和浮阀塔或填料塔进行分步提纯，第一级采用低温蒸馏方法去除气体杂质，第二级通过精馏方法去除高沸点杂质，最终得到纯度99％以上的四氯化硅。采用本方法回收四氯化硅，其生产成本低，产品价值高，并且消除了环境污染，具有很高的经济效益和社会效益。