静电微开关及其制造方法、以及具有静电微开关的装置
专利权的终止
摘要
静电微开关及其制造方法、以及具有静电微开关的装置。本发明的课题是提供可以维持高频特性、同时防止驱动电压上升或动作速度下降的静电微开关。作为解决手段，本发明的静电微开关通过设置在固定基板(10)上的固定电极(12)和弹性支撑在固定基板(10)上的可动基板(20)中的可动电极(23)之间的静电引力，使可动基板(20)变位，由此进行设置在固定基板(10)上的信号线(14)和设置在可动基板(20)上的可动触点(28)之间的通断。可动基板(20)由包含多种电阻率的半导体构成，在可动电极(23)中，与固定电极(12)相对的部分为低电阻率。此外，在可动基板(20)中与信号线(14)相对的部分为高电阻率。
基本信息
专利标题 ：
静电微开关及其制造方法、以及具有静电微开关的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1848343A
申请号 ：
CN200610057057.0
公开（公告）日 ：
2006-10-18
申请日 ：
2006-03-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
佐野浩二木村勇城岛正男
申请人 ：
欧姆龙株式会社
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄纶伟
优先权 ：
CN200610057057.0
主分类号 ：
H01H59/00
IPC分类号 ：
H01H59/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01H
电开关；继电器；选择器；紧急保护装置
H01H59/00
静电继电器；电附着继电器
法律状态
2019-03-08 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01H 59/00
申请日 : 20060317
授权公告日 : 20090204
终止日期 : 20180317
申请日 : 20060317
授权公告日 : 20090204
终止日期 : 20180317
2009-02-04 ：
授权
2006-12-13 ：
实质审查的生效
2006-10-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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