具有基板加热功能的基板载放机构
授权
摘要
本发明提供一种设置在基板处理装置的处理容器内的基板载放机构，其特征在于包括：载放台，具有将基板载放在其上面的基体、用于对载放在该基体上的基板进行加热的发热体、和给该发热体供电用的供电端子部；固定在所述处理容器的底座上且支承所述载放台的中空支承部件；固定在所述支承部件下方的所述处理容器底座上，并且与设置在所述处理容器外部的电源连接的连接端子部；与所述供电端子部连接并且在所述支承部件内部延伸的供电部件；和连接所述供电部件与所述连接端子部的弹簧部件。
基本信息
专利标题 ：
具有基板加热功能的基板载放机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1835649A
申请号 ：
CN200610065006.2
公开（公告）日 ：
2006-09-20
申请日 ：
2006-03-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
小松智仁
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
龙淳
优先权 ：
CN200610065006.2
主分类号 ：
H05B3/20
IPC分类号 ：
H05B3/20 H01L21/205 H01L21/00 H05K3/00 H05K13/00
相关图片
法律状态
2010-05-26 ：
授权
2006-11-22 ：
实质审查的生效
2006-09-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN1835649A.PDF
PDF下载
